検査システムのための反射性コーティング光学ガラス基板

検査システム用反射防止コーティング光学ガラス基板

材料:

• ベース基板: 優れた平面性、熱安定性、耐薬品性を考慮して選択された、高精度 ホウケイ酸ガラス (例: Borofloat 33) または 石英ガラス。

• コーティング技術: 精密マグネトロンスパッタリングまたは蒸着によって適用される 多層 誘電体コーティング (例: MgF₂、SiO₂、Ta₂O₅)。

• 設計タイプ: 広帯域AR (可視光-NIRスペクトル) または Vコーティング (単一波長最適化) としてカスタマイズ可能。

主な特性:

1. 超低反射率: 実現 表面反射率<0.5% (無コーティングガラスの4～8%と比較して)、光スループットを最大化。

2. 高透過効率: ターゲット波長で 99.5%以上の光透過率 を実現し、信号損失を最小限に抑えます。

3. 角度安定性: 斜めイメージングに不可欠な0～45°の入射角で性能を維持。

4. 環境耐久性: 連続運転下での剥離、湿度、UV劣化に耐えます。

5. 表面品質: サブオングストローム粗さ( <5Å Ra) により、光散乱アーチファクトを防止。熱的および化学的耐性: 洗浄溶剤および熱サイクル(-60°C～+300°C)に耐えます。

6. 主な機能:

迷光反射を 除去し、高精度光学検査システムで コントラストを最大化 するため。

• 表面反射によって生じるゴーストイメージ と フレアを最小限に抑えます。

• 正確な欠陥検出のために 信号対雑音比を向上させます。

• 複雑な光路全体で 光強度を維持します。

• 検査システムにおける主な用途:

半導体計測:

1. ウェーハ欠陥スキャナー

   • EUVリソグラフィ検査光学系

   • マスクアライメントシステム

   • 自動光学検査 (AOI):

2. PCBアセンブリ検証

   • ディスプレイパネル欠陥検出 (OLED/LCD)

   • 生物医学イメージング:

3. 病理学用顕微鏡対物レンズ

   • フローサイトメトリーレンズ

   • 産業用ビジョンシステム:

4. レーザートライアングレーションセンサー

   • 組立ライン用マシンビジョンレンズ

   • 航空宇宙NDT:

5. 超音波プローブウィンドウ

   • タービン検査用内視鏡光学系

   • フォトニクス試験:

6. 光干渉計プレート

   • 分光計ウィンドウ

   • 本質的に: 

反射防止コーティング光学ガラス基板は、重要な検査システムにおける反射に起因する精度問題を解決する精密設計されたコンポーネントです。超平坦なホウケイ酸ガラスまたは石英ガラス基板に高度な多層誘電体コーティングを適用することにより、ほぼ目に見えない表面性能( 反射率<0.5%) を実現し、ミクロン/サブミクロンレベルでの欠陥検出を可能にします。これらの基板は、半導体計測、AOI装置、およびすべての光子が重要な生物医学イメージングツールの信頼性を直接的に向上させます。名前ガラスディスク、ガラスウェーハ、ガラス基板、サイトグラス