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フィルターコーティングの種類と選択ガイド



I. コアコーティングの種類と機能
フィルターの機能的多様性は、設計におけるさまざまなコーティング層の組み合わせから主に生じます。

  1. 1.反射防止(AR)コーティング:

    • 機能: 主な目的は、特定の波長または帯域における光学表面での反射損失を減らし、透過率を大幅に向上させることです。最も広く使用されているベースコーティングです。

    • 原理: 単層または多層膜からの干渉キャンセルを利用して、反射光波を互いに打ち消し合います。

    • 用途: ほぼすべての高品質光学部品(レンズ、プリズム、窓、センサープロテクター)の表面に見られます。単層ARコーティング(例:MgF₂)は、中心可視光波長に一般的ですが、広帯域ARコーティング(例:多層広帯域AR)は、より広いスペクトル(例:可視光全体またはNIR)をカバーします。主な仕様には、最小反射率、動作帯域幅、入射角許容度、および環境耐久性があります。


  2. 2.カットオフコーティング:

    • 機能: スペクトル「カット」のコア機能層を形成します:

      • ショートパス: 特定のカットオフ波長より短い光を透過し、より長い波長を反射/吸収します。

      • ロングパス: 特定のカットオフ波長より長い光を透過し、より短い波長を反射/吸収します。


  3. 3.バンドパスコーティング: 特定の波長範囲(パスバンド)を透過させ、両側で光を強く反射/吸収します。

  4. 4.ノッチコーティング: 非常に狭い/広い特定の波長範囲(ノッチ波長)を強く反射/吸収し、他の波長を透過させます。

    • 原理: 高/低屈折率材料(例:TiO₂/SiO₂、Ta₂O₅/SiO₂、Nb₂O₅/SiO₂)を交互に配置した綿密に設計された多層スタックを使用して、干渉を介して特定の領域で高い反射率(カットオフ)を作成します。

    • 用途: さまざまな機能フィルター(蛍光フィルター、レーザー保護メガネ、カラーホイール、分光計コンポーネント、バイオセンシング、マシンビジョン)の絶対的なコアです。仕様は厳格です:中心波長、カットオフ波長、パスバンド幅、平均パスバンド透過率、カットオフ深度、カットオフ幅、パスバンドリップル、エッジの急峻さ、角度感度、温度安定性、レーザー損傷閾値(LDT)。


  5. 5.ビームスプリッターコーティング:

    • 機能: 入射光を波長またはエネルギー比で2つ以上のビームに分割します。

    • 種類:

      • ダイクロイック: 1つのバンドを反射し、別のバンドを透過します(特別なカットオフアプリケーション)。

      • ニュートラル: 広いスペクトルにわたって、入射光を固定比率(例:50:50、70:30)で反射および透過し、スペクトルの中立性を維持します。

    • 用途: 顕微鏡、プロジェクター、レーザーシステム、光学機器のビームスプリッター/コンバイナー。主な仕様:分割比の精度、スペクトル平坦度、偏光依存性、角度依存性、アパーチャの均一性、LDT。


  6. 6.高反射(HR)コーティング:

    • 機能: 特定の波長または広帯域で非常に高い反射率(>99.9%)を実現します。

    • 原理: 高屈折率コントラスト材料(例:TiO₂/SiO₂)または金属膜(Al、Ag、Au)の多層周期構造(DBR)を使用します。

    • 用途: レーザーキャビティミラー、干渉計ミラー、反射フィルター。主な仕様:ピーク反射率、帯域幅、吸収/散乱損失、LDT、応力制御。


  7. 7.金属コーティング:

    • 機能: 金属(UV-Vis用Al、Vis-NIR用Ag、IR用Au、吸収用Cr)の固有の広帯域スペクトル吸収/反射を利用します。

    • 用途: ベース反射層(多くの場合、保護層付き)、ニュートラルデンシティフィルター、ビームブロック、アパーチャ。主な仕様:反射/吸収曲線、安定性(耐酸化性)、表面仕上げ、密着性。


II. コーティング構造と材料

  • 1.構造:単層(シンプル)、多層(最も一般的、交互材料)、勾配屈折率(より広い帯域幅/角度性能のための屈折率変動)。


  • 2.材料: 誘電体(SiO₂、MgF₂、TiO₂、Ta₂O₅、Nb₂O₅、ZnS、ZnSe – 低損失)および金属(Al、Ag、Au、Cr – 広帯域反射/吸収)。屈折率、透明度範囲、硬度、安定性、応力、コストに基づいて選択。


III. 設計理論と製造

  • 1.設計理論:薄膜干渉(マクスウェルの方程式)に基づいています。方法:光学アドミッタンスマッチング、ベクトル法、ソフトウェア(TFCalc、Essential Macleod)を使用したコンピューター最適化(ニードル、遺伝的アルゴリズム)。

  • 2.製造:

    • 物理蒸着(PVD):

      • 熱蒸着:従来型、低コスト、中/小バッチ用。

      • マグネトロンスパッタリング:主流のハイエンドプロセス–高密度層、良好な密着性、均一性、再現性。

      • イオンビームスパッタリング:最高精度、最高品質(低散乱/吸収、高LDT)、高価。

    • 化学気相蒸着(CVD): 光学系ではあまり一般的ではありません。

    • プロセス制御: 膜厚モニタリング(光学、水晶)、蒸着速度、真空/ガス制御、温度、清浄度。


IV. 主なアプリケーション規格
性能は、厳格な実用要件を満たす必要があります:

  1. 1.スペクトル性能:中心/カットオフ波長の精度、帯域幅、透過率(平均/ピーク)、カットオフ深度(OD値、例:OD4 = 透過率<0.01%)、エッジの急峻さ、パスバンドリップル、バックグラウンド抑制。

  2. 2.光学均一性:アパーチャ全体での一貫性。

  3. 3.角度特性:角度によるスペクトルシフト(ブルーシフト、帯域幅の変化)。

  4. 4.偏光特性: S/P偏光に対する応答の違い(斜入射で重要)。

  5. 5.表面品質:表面仕上げ(傷・くぼみ、例:60-40)、平面度(例:λ/4)、波面歪み。

  6. 6.環境安定性: 温度シフト(ppm/℃)、耐湿性(85℃/85%RH)、機械的耐久性(密着性、摩耗)、耐薬品性、LDT(レーザーアプリケーションの場合、波長/パルス幅に依存)。

  7. 7.基板とサイズ:ガラスの種類(例:石英ガラス、サファイア)、厚さ、寸法、面取り、クリアアパーチャ。


V. アプリケーションとコーティングの選択
コーティング技術はすべての光学分野に浸透しています:

  • 1.画像処理と写真:レンズAR、UV/IRカットフィルターNDフィルター、 カラーフィルター、偏光子。

  • 2.ディスプレイ:LCD/OLEDのカラーフィルター、プロジェクターのダイクロイックミラー/カラーホイール。

  • 3.生物医学/ライフサイエンス:蛍光顕微鏡(励起/蛍光フィルター、ダイクロイック)、フローサイトメーター、アナライザー。

  • 4.レーザー技術:キャビティミラー、ライン分離フィルター、レーザー安全メガネ(高OD)、高調波発生結晶コーティング。LDTが重要です。

  • 5.分光法:回折格子/プリズムARコーティング; バンドパスフィルター波長選択用; 強度制御用NDフィルター。

  • 6.マシンビジョン/産業検査: コントラスト強調/特徴認識用のカラー/偏光フィルター。

  • 7.天文学:光害抑制/特定の放射線ライン用の狭帯域フィルター; 太陽フィルター(高い安全性)。

  • 8.通信/センシング: 光ファイバーのDWDMフィルター; ファイバーセンサーのフィルタリング。

  • 9.セキュリティ/防衛:熱画像用のIR ARコーティング; ミサイルシーカーのIRフィルター; レーザー保護フィルター(高OD/LDT)。

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